PE-100等離子表面處理機

PE-100等離子表面處理機是一款集綜合功能于一身的重量級產品。既可以應用于大學，科學研究機構，又能在工業級應用領域針對于小批量生產發揮強大作用。

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美國產PE-100實驗室等離子表面處理機

PE-100等離子表面處理系統是一款集綜合功能于一身的重量級產品。既可以應用于大學，科學研究機構，又能在工業級應用領域針對于小批量生產發揮強大作用。

產品特點：

1.體積小，臥式設計，可放置在實驗臺上或小推車上，方便靈活的移動。

2.性能可靠，“度量”寬大。真空腔體采用T6061航空鋁合金材料無縫焊接，有效處理面積達到約229mm*330mm.間距76mm(3層電極)可以輕松將大部分實驗樣品放入真空腔體內并實現小批量生產。

3.配置靈活PE-100可配置不同的頻率及功率：100-460KHz/13.56MHz還提供不同的功率以供用戶選擇。在控制系統上，可選擇PLC微電腦控制或更精準的全數字電腦控制，以滿足不同用戶的要求。

4.可以配置過程控制的溫控電極與RIE反應性等離子體處理系統。

5. 操作簡便，一般操作人員在極短的時間內就可以熟練操作，甚至只需要幾分鐘就可掌握。

6.安全保障：在小型設備中，引入一鍵急停保護按鈕，可以快速終止實驗，以最小程度降低因操作失誤而造成對樣品的損害。

外部尺寸	432mm711mm762mm重量：73Kg
真空腔材質	耐用的焊接6061T6鋁合金真空腔
真空腔尺寸	約305mm寬356mm深305mm高
電極尺寸	約229mm*330mm.間距76mm(3層電極)
等離子發生器	300W@100-460KHz（可選配13.56MHz）
供氣	質量流量控制器:O-50cc（連續可調）
壓力測量	Pirini真空計：0-1Torr
控制器	基于WINDOWS操作系統的控制系統
安全保障	一鍵急停按鈕
電源	220VAC，14A

附件（可選件）

抽氣裝置：推薦型號：6.5CFM 2級直驅真空油泵
300w/13.56Mhz可自動調節射頻發生器
一層電極
溫控電極
RIE反應性電極
可控速率氮氣自動吹掃裝置
靜電屏蔽裝置

樣品處理實例：LED燈基片處理前后對比

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