常見的真空等離子清洗機真空度單位有哪些

時間:2022-07-22 16:49 真空等離子清洗機的真空度，是影響等離子表面處理效果重要的因素之一。國內品牌的真空等離子清洗機常用的真空度單位基本是帕（Pa），但是國外品牌的真空等離子清洗機就會出現托（Torr）、巴（bar）等單位，相互之間如何換算，有的時候不太容易搞得清楚。今天昭沅就來帶大家梳理一下常見的幾個真空度單位。

1、真空、真空度和壓力單位

真空是指真空反應腔室里面低于標準大氣壓的氣體狀態，微觀上來講就是腔體內的氣體分子密度小于大氣壓的分子密度，不同的真空狀態意味著不同的分子密度。

真空度反應的是真空狀態空間氣體的稀薄程度，通常用氣體壓力值來來表示。真空度越高，壓力值越小；真空度越低，壓力值越大。

壓力單位反應真空壓力值的大小，由于歷史和習慣的原因，不同的國家和地區使用的單位有所區別。

2、幾種常見的真空壓力單位和相互之間的換算

國內外品牌真空等離子清洗機比較常見的真空度單位有3個，即帕斯卡（Pa）、托（Torr）、巴（bar），其中后面兩個單位歐美系的品牌比較常見。

2-1 帕斯卡（Pa），簡寫帕，國際單位制，我國法定壓力單位，是為紀念法國物理學家與數學家帕斯卡而命名。換算關系如下：

1 帕（Pa）= 7.5×10-3托（Torr）=10-2毫巴（mbar）

2-2 托（Torr），1Torr即1mmHg。Torr 參照國際單位制（簡稱SI）制訂的中華人民共和國法定計量單位規定壓強單位為Pa(帕），兩種單位之間換算關系為1托=133.322帕。換算關系如下：

1托（Torr）=133.322帕（Pa）=1.33322毫巴（mbar）

2-3 巴（bar），非法定計量單位，即1平方厘米的面積上受到100萬達因作用力，壓強就是1巴，合100000帕。換算關系如下：

1毫巴（mbar）=7.5×10-1托（Torr）=102帕（Pa）

3、真空壓度的測量

用來測量真空等離子清洗機真空度的儀器是真空計（Vacuum Gauge），又名真空表，其度數反應的是等離子清洗機反應腔室內氣壓的變化和實時的數值，能否精準測量對等離子表面處理工藝很重要。不同的真空度，等離子體放電狀態、等離子密度和特性區別很大。

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