等離子清洗機清洗原理和結構是什么？有何特點？
時間:2021-07-03 14:34
等離子體就像固體、液體或氣體一樣，是一種物質狀態，也稱為第四態。
把足夠的能量加到氣體上，使其離化便變成等離子狀態。
等離子體中的“活性”成分包括：離子、電子、活基、激發態(亞穩態)和光子等。
等離子清洗機是利用這些活性成分的性質對樣品表面進行處理，從而達到凈化、改性、光刻膠灰化等目的。
清洗原理
利用射頻電源在真空腔內，在一定壓力下產生高能量無序等離子體，利用等離子體轟擊被清洗產品表面，從而達到清洗目的。
等離子清洗機結構
主要由控制單元、真空腔和真空泵三大部分組成，結構簡單，易于操作。以下對三個部分進行說明：
一是控制部件。
國產的等離子清洗機，包括國外進口的，控制單元主要有四種方式：半自動控制，全自動控制，PC電腦控制，液晶觸摸屏控制。
控制臺被劃分為兩個大的部分：
電源部分：主電源頻率為40KHz,13.56MHz,2.45GHz，其中13.56MHz是需用電源匹配器；
系統控制單元：分為按鍵控制(半自動，全自動)，計算機控制，PLC控制(液晶觸摸屏控制)。
2.真空腔體：
真空腔體主要分為兩類材料：
一、不銹鋼真空腔。
二、石英腔。
3.真空泵：
有兩種真空泵：
一是干泵。
二是油泵。
等離子清洗機面板結構
清洗特點
等離子清洗機采用數控技術，自動化程度高，控制設備精度高，時間控制精度高；等離子清洗時，對表面沒有損傷層，表面質量有保障；由于是在真空中進行，不污染環境，保證了清洗表面不受二次污染。
