匹配器對等離子清洗機放電有什么影響
時間:2021-07-03 14:34
等離子清洗機不放電或放電不穩定的原因常常是等離子體發生器阻抗匹配問題。在等離子體發生器能量傳輸過程中，如果反應腔、電極阻抗和傳輸線的特征阻抗不相等，在傳輸過程中很容易形成反射，有些能量會由于加熱等方式而丟失，而不是被負載吸收，這樣就會直接影響等離子體表面處理的效果。所以昭沅儀器小編提醒大家匹配器對于等離子清洗機至關重要。
1、反應腔，電極和等離子發生器之間的橋梁。
阻抗配器可作為等離子清洗機反應腔、電極、等離子發生器之間的橋梁。為了保證高頻放電回路中放電區域用電保護振蕩器，通常需要在高頻電源和等離子腔、電極之間設置阻抗匹配網絡，根據放電條件的不同來調整，使高頻發生器的輸出阻抗與負載阻抗相匹配，使等離子清洗機放電穩定，工作效率高。
2、阻抗匹配是如何工作的？
對于一條有負載的直流電路，負載匹配的條件是外電路的負載電阻必須等于電源的內阻。這種Z大功率的直流回路定理實際上也存在于相應的交流回路中。
實際上，對于在控制回路中流過的太大的高頻電流，高頻發生器的輸出阻抗通常設計為純電阻，阻值一般為50Ω。但是高頻放電阻抗一般是電容阻抗，它的值會隨著等離子清洗機反應腔放電條件的變化而波動，這就需要對匹配網絡的阻抗和放阻抗進行調整，使加合后模擬負載的阻抗與高頻發生器的輸出阻抗相一致，從而達到匹配的目的。
3、影響等離子清洗機匹配效果的幾個主要因素
等離子清洗機的匹配必須與等離子體發生器匹配，而不能與大功率的等離子體發生器匹配，為了使等離子體清洗機能達到良好的匹配效果，還需注意以下幾點。
在等離子清洗機反應腔和電極的設計過程中，要充分與配用者充分溝通相關技術參數，以滿足配用者的匹配要求；
安裝匹配器時，應盡可能靠近等離子清洗機反應腔和電極安裝匹配器，以縮短連線，減少功率損耗；
氣體流量、真空度、處理產品的材料和處理數量等因素都可能影響阻抗匹配，昭沅儀器小編建議需要根據實際情況對等離子清洗機進行調整。
